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產(chǎn)品中心臺(tái)式電鏡&臺(tái)階儀&原位分析澤攸臺(tái)階儀全自動(dòng)臺(tái)階儀 JS3000B
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
國(guó)產(chǎn)全自動(dòng)臺(tái)階儀 JS3000B，擁有高精度、高分解能力，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測(cè)量。JS2000B提供兩個(gè)彩色攝像頭對(duì)樣品和針尖同時(shí)成像，可無(wú)畸變的觀(guān)察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域，同時(shí)探針掃描時(shí)可實(shí)時(shí)觀(guān)察掃描區(qū)域。
產(chǎn)品分類(lèi)
國(guó)產(chǎn)全自動(dòng)臺(tái)階儀 JS3000B，擁有高精度、高分解能力，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測(cè)量。JS2000B提供兩個(gè)彩色攝像頭對(duì)樣品和針尖同時(shí)成像，可無(wú)畸變的觀(guān)察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域，同時(shí)探針掃描時(shí)可實(shí)時(shí)觀(guān)察掃描區(qū)域。
應(yīng)用范圍
▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測(cè)量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測(cè)量
▲ 各式薄膜等應(yīng)力測(cè)量
▲ 3D掃描成像
▲ 計(jì)劃任務(wù)和多點(diǎn)掃描
▲ 批量測(cè)試晶圓，批量處理數(shù)據(jù)等
▲ EFEM（LP+ROBOT+ALINGER)
▲ JS300B
▲ 高度校準(zhǔn)標(biāo)樣
▲ FFU模塊
▲ 靜電消除模塊
▲ E84接口
軟件界面
掃描圖
18nm樣品
68um樣品
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