產(chǎn)品概述

澤攸ZP3-4微納探針臺精密電學(xué)測量平臺澤攸ZP3-4微納探針臺是一款適用于微納器件電學(xué)性能測試的精密儀器，主要服務(wù)于半導(dǎo)體器件、納米材料和微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）等領(lǐng)域的研究與測試需求。該系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計理念，可滿足不同規(guī)格樣品的測試要求。澤攸ZP3-4微納探針臺精密電學(xué)測量平臺

核心功能特點(diǎn)

精密定位系統(tǒng)

• 采用高精度步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動

• 三維移動分辨率可達(dá)0.1微米級

• 支持手動與電動兩種操控模式

• 具備位置記憶與自動復(fù)位功能

探針配置方案

• 標(biāo)準(zhǔn)配置支持4個獨(dú)立探針臂

• 探針角度可多向調(diào)節(jié)

• 兼容多種規(guī)格的商用探針

• 可選配高溫或低溫探針組件

樣品適配性能

• 最大支持6英寸晶圓測試

• 樣品臺溫度控制范圍：室溫至300℃（選配）

• 可選配真空或惰性氣體環(huán)境腔體

• 支持倒裝芯片等多種封裝形式

典型應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體器件I-V特性測試

2. 納米材料電學(xué)性能表征

3. MEMS器件參數(shù)測量

4. 微納傳感器性能評估

5. 新型電子器件研發(fā)測試

操作注意事項

• 建議在防震實(shí)驗臺上使用

• 定期校準(zhǔn)定位系統(tǒng)精度

• 探針接觸壓力需適當(dāng)控制

• 高溫測試時注意操作安全

• 建議配合靜電防護(hù)措施使用

技術(shù)支持服務(wù)

澤攸科技提供以下專業(yè)支持：

• 設(shè)備安裝與操作培訓(xùn)

• 測試方案開發(fā)咨詢

• 定期維護(hù)保養(yǎng)服務(wù)

• 備品備件供應(yīng)保障

• 軟件功能升級支持

產(chǎn)品價值體現(xiàn)

ZP3-4微納探針臺通過其精密的定位系統(tǒng)和靈活的配置方案，為微納器件的電學(xué)測試提供了可靠的實(shí)驗平臺。該系統(tǒng)適用于需要精確電學(xué)測量的研發(fā)和質(zhì)量控制場景。澤攸ZP3-4微納探針臺精密電學(xué)測量平臺