在精密測(cè)量的復(fù)雜版圖中，Sensofar S neox 以其設(shè)計(jì)和強(qiáng)大的功能，成為眾多行業(yè)實(shí)現(xiàn)高精度檢測(cè)與研究的得力助手。無(wú)論是在追求工藝的工業(yè)生產(chǎn)，還是探索微觀奧秘的科研領(lǐng)域，S neox 都展現(xiàn)出適用性。
四合一技術(shù)，適應(yīng)多元測(cè)量需求
S neox 將共聚焦、干涉、Ai 多焦面疊加以及薄膜測(cè)量技術(shù)融合于一體，打造出一套適應(yīng)各類表面測(cè)量的綜合性方案。其共聚焦技術(shù)，借助高數(shù)值孔徑物鏡，能夠?qū)崿F(xiàn)高達(dá) 0.15μm 的橫向分辨率，即使面對(duì)具有復(fù)雜微觀結(jié)構(gòu)的樣品，也能精準(zhǔn)捕捉其表面細(xì)節(jié)，特別適合關(guān)鍵尺寸測(cè)量。干涉技術(shù)涵蓋相位差干涉和白光干涉，前者能以亞納米級(jí)精度測(cè)量高度光滑且連續(xù)的表面，后者則在納米級(jí)精度下對(duì)各類表面進(jìn)行高度形貌測(cè)量，且不同放大倍數(shù)下均能維持出色的縱向分辨率。Ai 多焦面疊加技術(shù)專為大粗糙表面設(shè)計(jì)，憑借主動(dòng)照明機(jī)制，不僅能在高斜率（可達(dá) 86°）表面上穩(wěn)定工作，還能實(shí)現(xiàn)快速測(cè)量（速度高達(dá) 3mm/s），有效補(bǔ)充了低放大率下的測(cè)量能力。此外，S neox 的薄膜測(cè)量技術(shù)可在 1 秒內(nèi)完成對(duì) 50nm 至 1.5μm 厚度透明膜的測(cè)量，測(cè)量光斑最小可達(dá) 0.5μm，為薄膜相關(guān)研究與生產(chǎn)提供了高效手段。
高速采集，提升工作效率
得益于全新的智能算法與高性能相機(jī)，S neox 的數(shù)據(jù)采集速度達(dá)到了 180fps，標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量采集速度相較于前代產(chǎn)品提升了 5 倍，成為市場(chǎng)上數(shù)據(jù)獲取極為高效的區(qū)域測(cè)量系統(tǒng)。這一特性在對(duì)大量樣品進(jìn)行快速篩查，或在實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)生產(chǎn)線上產(chǎn)品質(zhì)量時(shí)優(yōu)勢(shì)盡顯。例如，在半導(dǎo)體芯片制造的質(zhì)量控制環(huán)節(jié)，S neox 能在短時(shí)間內(nèi)對(duì)芯片表面進(jìn)行大面積掃描，迅速識(shí)別出潛在的缺陷，大大縮短了檢測(cè)周期，保障生產(chǎn)流程的高效運(yùn)轉(zhuǎn)。
簡(jiǎn)潔易用，降低操作門(mén)檻
Sensofar 始終致力于為用戶提供出色體驗(yàn)，S neox 的第五代系統(tǒng)將操作便利性提升到新高度。即使是初次接觸的用戶，也能通過(guò)簡(jiǎn)單的一鍵操作完成復(fù)雜測(cè)量任務(wù)。系統(tǒng)配套的 SensoSCAN 軟件擁有直觀的用戶界面，通過(guò)清晰的導(dǎo)航引導(dǎo)用戶在 3D 環(huán)境中進(jìn)行操作。在測(cè)量準(zhǔn)備階段，用戶借助概覽工具可對(duì)樣品進(jìn)行全面檢查，確定測(cè)量位置，高倍放大操作也變得輕松便捷。同時(shí)，軟件具備的 3D 自動(dòng)功能，能自動(dòng)判斷并設(shè)置優(yōu)良測(cè)量參數(shù)，無(wú)需用戶手動(dòng)調(diào)試，大幅提升了測(cè)量效率與準(zhǔn)確性。
堅(jiān)固耐用，適應(yīng)復(fù)雜環(huán)境
在實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景中，許多生產(chǎn)環(huán)境充滿挑戰(zhàn)，如存在振動(dòng)、碎屑或腐蝕性物質(zhì)等。S neox 通過(guò)精心設(shè)計(jì)，有效應(yīng)對(duì)這些難題。其良好的密封構(gòu)造可防止碎屑和顆粒進(jìn)入內(nèi)部，無(wú)運(yùn)動(dòng)部件的光學(xué)設(shè)計(jì)極大降低了機(jī)械故障風(fēng)險(xiǎn)，保障系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。對(duì)于有特殊環(huán)境要求的行業(yè)，如半導(dǎo)體制造等對(duì)潔凈度要求領(lǐng)域，S neox 還推出了兼容 ISO 1 級(jí)無(wú)塵室的型號(hào)。該型號(hào)經(jīng)過(guò)嚴(yán)格測(cè)試，在滿足無(wú)塵環(huán)境要求的同時(shí)，保留了 S neox 的所有強(qiáng)大功能，確保在苛刻環(huán)境下仍能提供精準(zhǔn)測(cè)量結(jié)果。
廣泛應(yīng)用，助力多領(lǐng)域發(fā)展
S neox 的應(yīng)用范圍極為廣泛。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，可用于監(jiān)測(cè)化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）過(guò)程中晶圓表面的平整度，為芯片制造工藝優(yōu)化提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)；在光學(xué)元件制造方面，能精確檢測(cè)鏡片、透鏡等表面的微觀缺陷與粗糙度，保障光學(xué)元件的成像質(zhì)量；在醫(yī)療設(shè)備生產(chǎn)中，對(duì)于微流體芯片、植入式器械等的表面質(zhì)量檢測(cè)，有助于提升醫(yī)療器械的安全性與可靠性。以某光學(xué)企業(yè)為例，引入 S neox 后，其光學(xué)鏡片的次品率顯著降低，產(chǎn)品的光學(xué)性能一致性得到大幅提升，增強(qiáng)了企業(yè)在市場(chǎng)中的競(jìng)爭(zhēng)力。
選擇 Sensofar S neox，意味著在精密測(cè)量領(lǐng)域擁有一位全面且可靠的伙伴。它憑借優(yōu)良技術(shù)、高效性能、便捷操作以及強(qiáng)大的環(huán)境適應(yīng)性，為科研與工業(yè)生產(chǎn)提供精準(zhǔn)、快速的測(cè)量解決方案，助力各行業(yè)在追求高精度與高質(zhì)量的道路上不斷邁進(jìn)，實(shí)現(xiàn)新的突破與發(fā)展。
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