舜宇顯微鏡：研究級(jí)的“全能選手"

在科研與工業(yè)檢測(cè)領(lǐng)域，顯微鏡需同時(shí)滿足高分辨率、多功能性與操作舒適性。舜宇RX50M研究級(jí)正置金相顯微鏡通過(guò)創(chuàng)新的光學(xué)設(shè)計(jì)與人性化交互，成為材料科學(xué)、半導(dǎo)體檢測(cè)等場(chǎng)景的核心工具。

產(chǎn)品細(xì)節(jié)：以用戶(hù)為中心的設(shè)計(jì)哲學(xué)

RX50M的觀察筒采用30°傾斜設(shè)計(jì)，支持瞳距調(diào)節(jié)（50-76mm）與三檔分光比（雙目:三目=100:0/20:80/0:100），用戶(hù)可同時(shí)通過(guò)目鏡與攝像系統(tǒng)觀察樣品，提升數(shù)據(jù)記錄效率。機(jī)身集成數(shù)字調(diào)光屏，可實(shí)時(shí)顯示照明電壓，并支持一鍵切換透反射照明模式，簡(jiǎn)化復(fù)雜場(chǎng)景下的操作流程。

性能突破：從明場(chǎng)到微分干涉的全覆蓋

1. 光學(xué)系統(tǒng)：搭載無(wú)限遠(yuǎn)色差校正系統(tǒng)與U-DICR微分干涉組件，可將0.1μm級(jí)的表面高低差轉(zhuǎn)化為高對(duì)比度明暗差。例如，在檢測(cè)精密磁盤(pán)表面劃痕時(shí)，DIC模式可呈現(xiàn)立體浮雕效果，劃痕深度測(cè)量誤差小于0.05μm。

2. 偏振系統(tǒng)：內(nèi)置360°旋轉(zhuǎn)式檢偏器，用戶(hù)無(wú)需移動(dòng)樣品即可觀察不同偏振角度下的圖像。在半導(dǎo)體檢測(cè)中，該功能可有效消除晶圓表面反射雜光，提升缺陷識(shí)別率。

3. 照明系統(tǒng)：透反射照明裝置兼容12V/100W超長(zhǎng)壽命鹵素?zé)?，配合搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9），實(shí)現(xiàn)均勻照明與低倍率色差校正。例如，在檢測(cè)大型金屬鑄件時(shí)，反射照明模式可覆蓋78mm高度的樣品，滿足無(wú)損檢測(cè)需求。

用材與參數(shù)：專(zhuān)業(yè)性與耐用性的結(jié)合

• 物鏡系統(tǒng)：提供明暗場(chǎng)半復(fù)消色差物鏡（5X-100X），數(shù)值孔徑（N.A.）達(dá)0.9，工作距離1.0-19.5mm，適配從薄片到厚樣品的檢測(cè)需求。

• 載物臺(tái)：4英寸（102×102mm）玻璃載物臺(tái)，支持Y軸鎖定功能，防止陣列器件檢測(cè)時(shí)漏檢。

• 關(guān)鍵參數(shù)：

  
  

  項(xiàng)目	參數(shù)
  總放大倍率	50X-1000X
  目鏡	PL10X/25mm（超寬視野目鏡）
  微調(diào)精度	0.001mm
  濾色片插槽	4個(gè)（支持LBD、ND50等）

  
  

使用場(chǎng)景與操作技巧

RX50M支持明場(chǎng)、暗場(chǎng)、斜照明、DIC與偏光觀察模式。在檢測(cè)LCD導(dǎo)電粒子時(shí)，用戶(hù)可先使用明場(chǎng)模式定位粒子，再切換至DIC模式測(cè)量粒子尺寸；在地質(zhì)材料分析中，搭配藍(lán)色濾色片（≤480nm）可增強(qiáng)礦物熒光效應(yīng)。操作時(shí)，建議利用物鏡轉(zhuǎn)換器的低手位設(shè)計(jì)，快速切換放大倍率，同時(shí)通過(guò)數(shù)字調(diào)光屏監(jiān)控照明強(qiáng)度，避免過(guò)曝。

行業(yè)應(yīng)用與用戶(hù)反饋

東莞某半導(dǎo)體企業(yè)引入RX50M后，將其應(yīng)用于晶圓缺陷檢測(cè)，工程師評(píng)價(jià)稱(chēng)：“其DIC模式與360°偏振系統(tǒng)顯著提升了缺陷識(shí)別效率，單片晶圓檢測(cè)時(shí)間從15分鐘縮短至8分鐘。"目前，該型號(hào)已服務(wù)于中科院、清華大學(xué)等科研機(jī)構(gòu)，以及華為、三星等企業(yè)。

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