ZYGO 3D光學輪廓儀附件與選型建議

產品簡介

ZYGO 3D光學輪廓儀附件與選型建議
通過合理搭配附件與擴展功能，ZeGage Pro 可進一步適配多領域復雜測量需求，而科學的選型則能確保設備性能與實際需求精準匹配，大化發(fā)揮其檢測價值。

產品型號：ZeGage Pro

更新時間：2026-01-23

廠商性質：代理商

訪問量：249

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學輪廓儀

BRUKER白光干涉光學輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學輪廓儀 SENSOFAR結構光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測量干涉儀 ZYGO三維光學輪廓儀

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ZYGO 3D光學輪廓儀附件與選型建議

一、核心附件類型與適配場景

（一）樣品臺類附件

真空吸附樣品臺（ZGP-ST01）

適配柔性薄膜、輕薄樣品（如 PET 膜、金屬箔），通過 0.03-0.05MPa 可調吸附壓力，使樣品平整貼合臺面，避免測量時褶皺。安裝時直接替換原有樣品臺，連接設備自帶氣路接口即可使用，適合半導體薄膜、光學薄膜等需高精度平整測量的場景。

自動樣品臺（ZGP-ST02）

X/Y 軸行程 100mm×80mm，定位精度 0.0005mm，支持預設 10 個測量點位，自動完成多區(qū)域批量檢測。需在 MetroPro 軟件中 “設備設置" 里勾選 “自動樣品臺" 并校準，適配半導體晶圓、批量機械零件等需高效檢測的場景，可將單批次檢測時間縮短 40%。

（二）光學類附件

偏振光模塊（ZGP-OP01）

安裝在物鏡與干涉儀之間，通過調節(jié)偏振角度（0°-90°）減少透明樣品（如玻璃、樹脂）的反光干擾，提升成像對比度。在光學鏡片、透明陶瓷檢測中啟用，配合軟件 “增強對比度" 功能，可使表面紋理清晰度提升 30%。

高倍物鏡（ZGP-OBJ100）

100X 倍率，水平分辨率 0.32μm、垂直分辨率 0.03nm，適配微小結構測量（如芯片納米級凸起、光學元件微透鏡）。更換時需輕擰原物鏡后裝新物鏡，再通過軟件 “物鏡校準" 功能用標準樣板驗證精度，適合精密半導體、微光學器件檢測場景。

（三）輔助類附件

防磁屏蔽板（ZGP-SH01）

2mm 厚坡莫合金材質，放置在樣品臺與設備主體間，削弱磁性樣品（如永磁體、電磁鐵芯）的磁場干擾。無需復雜安裝，直接鋪墊即可，適配機械領域磁性零件（如電機鐵芯）的表面粗糙度、臺階高度測量，可將磁場導致的測量偏差控制在 0.002μm 內。

標準樣板套裝（ZGP-CA01）

包含臺階樣板（高度 0.1μm、1μm、10μm）、粗糙度樣板（Ra=0.01μm、0.1μm、1μm），用于設備日常校準與精度驗證。每次更換物鏡或維護后，用對應樣板校準，確保測量誤差符合要求，是實驗室計量、質量管控的備附件。

二、軟件擴展功能

高級分析模塊（ZGP-AN01）

需在 MetroPro 軟件中輸入授權碼激活，新增 “3D 模型對比"“缺陷統(tǒng)計分析" 功能：前者可將測量的 3D 形貌與 CAD 設計模型疊加，自動標注偏差區(qū)域；后者支持統(tǒng)計缺陷數(shù)量、尺寸分布，并生成直方圖報告。適配精密模具、航空零件等需深度數(shù)據(jù)分析的場景。