澤攸ZEM20電鏡從樣品到圖像
了解一臺儀器的工作流程，有助于評估其是否適合自身的工作節(jié)奏。
臺式掃描電子顯微鏡的設(shè)計通常注重流程的簡化和效率的提升。以ZEISS ZEM20為例，其從樣品準(zhǔn)備到獲得圖像的過程，相比傳統(tǒng)大型SEM，展現(xiàn)出一些旨在提升便捷性的特點。
首先，是樣品準(zhǔn)備。對于掃描電鏡觀測，樣品通常需要是干燥、穩(wěn)定且導(dǎo)電的。對于不導(dǎo)電的樣品（如大部分陶瓷、高分子、生物樣品），一般需要進(jìn)行噴金或噴碳處理，在其表面覆蓋一層薄薄的導(dǎo)電膜，以防止電荷積累（荷電效應(yīng)）影響成像。臺式SEM的樣品倉通常設(shè)計得較為簡單，樣品臺尺寸適中，可以容納常見尺寸的塊狀或顆粒狀樣品。樣品制備過程與傳統(tǒng)SEM類似，但得益于較小的樣品倉，抽真空所需時間可能更短。
第二步是樣品加載和抽真空。ZEM20這類設(shè)備通常配備自動或半自動的真空系統(tǒng)。用戶將樣品固定在樣品臺上后，放入樣品倉并關(guān)閉艙門，啟動抽真空程序。系統(tǒng)會自動將樣品室抽至工作所需的高真空狀態(tài)。這個過程通常耗時較短，有利于快速更換樣品，提高工作效率。
第三步是觀察與成像。當(dāng)真空度達(dá)到要求后，即可開始操作。用戶通過軟件界面控制電子束的加速電壓、束流強(qiáng)度等參數(shù)，并操縱樣品臺的移動（X, Y, Z方向以及傾斜、旋轉(zhuǎn)）?，F(xiàn)代臺式SEM的軟件界面通常較為直觀，內(nèi)置了一些輔助功能。例如，自動聚焦、自動像散校正等功能可以幫助用戶更快地獲得清晰圖像。用戶通過不斷調(diào)整放大倍數(shù)、對焦和像散，尋找感興趣的觀察區(qū)域。
在觀察過程中，主要利用兩種電子信號成像：二次電子像和背散射電子像。二次電子信號對樣品表面形貌非常敏感，圖像立體感強(qiáng)，是觀察表面微觀形貌的主要方式。背散射電子信號則對樣品的原子序數(shù)差異敏感，可以反映不同成分區(qū)域的襯度差異，用于區(qū)分材料中的不同相或元素分布。
最后，當(dāng)找到滿意的視野和焦距后，可以采集圖像。軟件允許用戶設(shè)置圖像的分辨率、幀速和平均次數(shù)，以平衡圖像質(zhì)量和采集時間。獲得的圖像可以保存為通用格式，用于后續(xù)的分析、測量和報告制作。如果設(shè)備配備了能譜儀，還可以在感興趣的點或區(qū)域進(jìn)行元素成分的定性和半定量分析。
總體來看，ZEISS ZEM20所代表的現(xiàn)代臺式SEM，其工作流程的設(shè)計思路是明確且高效的：簡化裝載和抽真空步驟，通過軟件輔助降低成像操作的技術(shù)門檻，并最終快速地將樣品轉(zhuǎn)化為可供分析的數(shù)字化圖像。這使得用戶可以將更多精力集中在觀察、分析和解決科學(xué)問題上，而非復(fù)雜的儀器操作上。
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